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國立清華大學 奈米工程與微系統研究所 方維倫所指導 劉育嘉的 低熱變形與低雜訊之多通道電容感測界面CMOS-MEMS加速度感測器的設計與實現 (2011),提出teva尺寸對照關鍵因素是什麼,來自於CMOS-MEMS、電容式加速度計、熱穩定性、選擇性電鍍、純二氧化矽結構、多通道電容感測介面、全差分感測。
而第二篇論文國立彰化師範大學 機電工程學系 沈志雄所指導 鍾昌宏的 新式小型化石英微機電震盪元件研究 (2011),提出因為有 石英震盪器、石英陀螺儀、QMEMS、壓電模擬、晶體阻抗的重點而找出了 teva尺寸對照的解答。
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低熱變形與低雜訊之多通道電容感測界面CMOS-MEMS加速度感測器的設計與實現
為了解決teva尺寸對照 的問題,作者劉育嘉 這樣論述:
隨著微機電系統發展不斷推陳出新,利用標準平台發展出相關元件,始終成為此領域之關鍵技術。透過CMOS-MEMS製程技術,同時整合微結構與感測電路在同一晶片上,不僅可以利用半導體本身可縮小線寬、批量製造與系統整合優勢,也能提高其附加價值,因此,相關技術之發展重要性不可言喻。本研究欲利用TSMC 0.35 μm 2P4M標準CMOS製程平台來設計出電容式感測晶片,以加速度計作為研究主軸,在結構設計部分,針對一般CMOS-MEMS加速度計進行設計改良與效能提升,分別設計出兩種改良型態的加速度計結構。第一種為具有選擇性電鍍鎳於CMOS晶片上,具以下三個特色:(i)選擇性電鍍可藉由CMOS與MEMS標準
製程實現,(i)電鍍鎳結構厚度可改善質量塊重量與結構剛性,進而抑制結構對溫度效應的敏感性,(iii)電鍍後製程為常溫製程,不會影響CMOS金屬層與感測電路,綜合以上優點成功提升加速度計效能(例如靈敏度、雜訊準位以及最小可偵測訊號)。第二種改良型態加速度計為利用單層二氧化矽材料作為CMOS-MEMS加速度計結構,具有以下四個特色:(i)降低MEMS結構懸浮後因殘餘應力所產生的初始形變,(ii)抑制複合膜層因熱膨脹係數不同所產生的形變量,(iii)在純二氧化矽質量塊中電性的繞線可以大幅降低寄生電容進而提升感測靈敏度,(iv)低溫度效應未來可相容於封裝溫度,綜合以上優點使其具有高靈敏度與低熱飄移。此
外,在電容感測介面電路提出多通道(Multi-channel)感測機制讀取多軸感測器訊號,具有以下三個特色:(i)加速度感測器結構電性透過全差分電性連結,可有效抑制共模雜訊,(ii)感測電路透過時脈切換的方式對感測器訊號進行讀取,使整顆晶片具有高訊雜比與小尺寸特色,(iii)此電路架構可整合其他電容式感測器例如三軸陀螺儀與三軸磁力計,使單晶片系統有最小晶片面積。
新式小型化石英微機電震盪元件研究
為了解決teva尺寸對照 的問題,作者鍾昌宏 這樣論述:
隨著石英微機電系統技術整合及發展快速,現今市場的需求為逐漸小型化且具備高精密度的石英元件,為了能克服在次微型化生產技術上使用石英的障礙,並達成要求的高穩定性及準確性,進而發展了石英微機電系統(QMEMS)製程技術,以提高產量、縮小元件尺寸及減少製程誤差的產生。本論文提出新穎小型化石英微震盪元件結構之設計,石英音叉震盪器新式H型溝槽電極提升電荷量9.8%、雙平行溝槽電極提升電荷量33.4%、步階型溝槽電極提升電荷量11.3%。而石英陀螺儀新式H型溝槽電極提升電荷量23.1%、雙平行溝槽電極提升電荷量25.2%、步階型溝槽電極提升電荷量25.3%。此設計是希望元件經小型化後還能以低偏壓驅動,使電
場電力線距離縮短產生較大的壓電效果,並將此溝槽電極結構設計應用於石英音叉震盪器及石英陀螺儀,透過CoventorWare2010進行石英壓電模擬分析,藉由凹槽(notch)結構設計使振動能量集中並增加電極之電荷量,以減少晶體阻抗、提升Q值及改善諧波振盪能量溢散情形。製程上設計八道石英光罩,透過QMEMS製程技術完成石英音叉震盪器及石英陀螺儀元件製作,並驗證新式石英溝槽電極結構設計之優劣。最後利用Hspice進行整合驅動電子電路設計模擬,透過國家晶片系統晶片設計製作中心提供的下線服務,並使用台積電CMOS 0.35μm 2P4M半導體製程,來建立我們整合驅動電路的晶片製作,再搭配石英震盪元件及C
MOS IC下線晶片進行機電整合封裝及量測。
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#4.Teva - 運動涼鞋的穿著預留空間 - Facebook
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