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光阻溶液對化學性手套之滲透性評估

為了解決nbr手套台灣製的問題，作者許修鴻 這樣論述：

摘要目的：動物實驗顯示傳統的乙二醇醚光阻劑具生殖毒性，因此改以不具生殖毒性但較易滲透皮膚的丙二醇醚(Propylene Glycol Methyl Ether, PGME)及丙二醇甲醚醋酸酯(Propylene Glycol Monomethyl Acetate, PGMEA)取代，但防護手套對此化學品的防護能力並未被完整評估。本研究選定PGME、PGMEA、光阻劑、常用的添加溶劑(環己酮及乙酸丁酯)及添加不同高分子之光阻溶液等為挑戰溶液，以ASTM F739-12方法測試其對微影製程常用防護手套的滲透行為，探討手套對不同極性光阻溶液的滲透模式。方法：本研究測試手套為天然乳膠手套(Natur

al Rubber Latex, NRL)及丁腈手套(Nitrile Rubber)，滲透實驗溫度為24˚C，考量無塵室手套不重複使用的作業原則，試驗時間為1小時，每5分鐘採樣1次，所有滲試驗皆進行3重複，試驗前後均測量手套厚度及重量，並以Wilcoxon sign-rank test檢定之。滲透樣本中之環己酮(Cyclohexanone, ANONE)、乙酸丁酯(butyl acetate, NBA)、丙二醇醚(PGME)及丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)以氣相層析儀-火焰離子偵測器(GC-FID)定量，並計算累積滲透質量及滲透速率。結果：任一手套試驗樣本(Nitrile Rubber或NRL

)之重量及厚度，在試驗前、試驗結束後乾燥30分鐘與試驗結束後乾燥24小時之厚度及重量皆未有顯著差異(p值皆大於0.05)，顯示手套材質沒有因接觸化學藥劑而受到影響。所測試之兩種防護手套皆在15分鐘內發生破出，而累積滲透質量與滲透速率，丁腈手套平均高於乳膠手套10倍以上，顯見本研究所使用之丁腈手套防護能力不如橡膠手套。結論：半導體產業無塵室中常用的天然乳膠手套與丁腈手套對於PGME、PGMEA、環己酮及乙酸丁酯的防護效果皆不佳(破出時間小於15分鐘)，因此人員使用光阻劑時，一旦不慎接觸到此類光阻劑時，建議應立即更換手套，以免化學物質滲透手套，接觸皮膚，導致職業性皮膚病發生。