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遠程電漿源腔體建模與產生器設計

為了解決Impact Factor 擴充的問題，作者余淩嘉 這樣論述：

本論文設計並研製了一台切換頻率約400 kHz且最高功率達2.5千瓦的遠程電漿源。遠程電漿源已被廣泛應用於晶片製造業中，除了可用於進行沉積與蝕刻以外，亦可應用於反應腔體內部的清潔。當反應腔體內壁堆積了過厚的矽種膜，矽種膜會剝落而污染晶圓，破壞原有的製程步驟。因此週期性的對反應腔體內部進行清潔為不可或缺的流程之一。遠程電漿源於反應腔外部產生可與矽種膜反應之電漿後，通過管線將電漿通入反應腔中，使電漿與矽種膜反應生成為矽種氣體後再將之排出反應腔外，即可完成自動化的清潔流程。本研究所聚焦研究之遠程電漿源，即為使用NF3氣體產生氮氣電漿之乾式清潔電漿源。產生電漿的過程主要分為兩個步驟：點火與持弧。「點

火」為一開始使用電容性放電電漿的形式，以高壓解離墮性氣體如氬氣，進而產生初始的自由電子。而後再供給腔體足夠高的電流及功率，採用電感性耦合電漿的方式，使腔體內的氮氣電漿能持續產生即為「持弧」。而本研究中分別設計了一個5千伏容性負載的高壓輸出逆變器作為「點火器」，用於初始的點火步驟，以及一個2.5千瓦定電流30安培輸出的高功率逆變器作為「維持器」，用以維持不同氣體流量下的氮氣電漿持續產生。為了設計兩台作為不同用途的逆變器，本研究將電漿負載進行了建模。由於電漿源腔體的設計掌控在其他研究者手中，在資訊以及設備有限的情況下，本研究根據灰箱研究的方式，將電漿載轉換成為等效之RLC負載。並且不僅不需使用傳統

電漿侵入式量測設備蘭姆探針，亦將氮氣氣體流量以及操作頻率這兩個影響等效負載關鍵因素的變動納入建模考量。根據所建模之等效電漿負載，作為高壓點火器的半橋諧振逆變器，以及作為高功率維持器的全橋諧振逆變器皆設計並研製。本研究採用瑞薩RX62T做為核心之數位處理器，並做為遠程電漿源之控制器，不僅能控制整個點火到維持的功率輸出流程，亦做為過壓過流保護之用途，以及控制逆變器使能穩定輸出。雖然實際的電漿產生過程中，由於氣體流動以及化學反應等難以控制速度的特性，不會有快速切載的控制需求，但本研究依然設計了回授補償，並且實際使用等效RL負載，進行了單台高功率逆變器的切載測試。而考量到未來電漿源功率擴充之可能性，本

研究亦針對兩台高頻高功率逆變器的並聯使用時之小訊號模型，進行建模並設計控制迴路。其設計結果亦進行了切載模擬並得到良好的控制效果，可做為未來此類高頻逆變器並聯研究之參考。最後，本研究所設計之遠程電漿源，亦實際使用氮氣與氬氣，進行不同氣體流量下的電漿產生測試，並將結果呈現於論文中。本論文的主要貢獻如下: 所設計之遠程電漿源可於不同氮氣流量下穩定輸出電漿。 點火器與維持器完全獨立分開的設計有助於日後維修替換、功率提升甚至是應變不同點火電壓的氣體應用。 所採用之等效電漿負載建模方法，有別於傳統電漿負載量測方式，不僅不需破壞腔體進行侵入式量測，亦不需要昂貴的特殊設備即可進行。

所建模之等效電漿負載，將隨著流量以及切換頻率，而產生之動態變化納入考量，並結合進逆變器的設計過程中。

女性婚外情與自我概念變化之現象探究

為了解決Impact Factor 擴充的問題，作者曾惟靈 這樣論述：

本研究旨在探討已婚女性於婚外情中的經驗，並闡述婚外情過程中如何產生不同面向的自我，以及在婚外情關係結束後，對自我又如何建立全新的認識與看見。研究者採深度訪談法總共訪談四位受訪者並獲取文本，使用高淑清（2008）提及的主題分析法，歸納出已婚女性的婚外情歷程以及過程中自我概念變化兩大區塊。研究結果如下：第一部分描述女性的婚姻與婚外情現象並歸納為三個共同主題：（一）婚姻中的美麗與哀愁、夢想與幻滅。透過與原生家庭及理想伴侶的互動建構起女性對婚姻的想像與期待。進入婚姻之後，現實生活的議題與一觸即發的婚姻危機，令女性的童話美夢幻滅。（二）美麗的第三角邂逅：不在乎天長地久，只在乎曾經擁有。受婚外情對象的吸

引，女性體驗到被追求與寵愛的甜蜜，從中覺察對親密關係的價值觀及渴望。（三）短暫情緣的斷捨離。隨著婚外情事的曝光及夫妻關係的破壞，女性被迫面對關係中的根本問題並做出抉擇。第二部分為婚外情歷程中自我概念的變化並歸納為五個主題：（一）自我概念的形塑期。研究發現已婚女性的自我是從婚前個體自我及婚後他人期待的自我建構而成。（二）婚前與婚後的自我概念混淆期。婚姻中的理想自我與真實自我，以及妻子角色與個體自我之間的差異，造成期待與現實中自我概念的斷裂。（三）婚外情中的自我探索期。婚外情經驗擴充女性對自我的認識，女性因情感的豐盈而對外表更有自信、更具自我價值，進而長出突破困境與限制的勇氣及行動力。（四）婚外情

對自我的衝擊。女性遭受大眾對婚外情的污名而歷經自我批判，及對母親或妻子角色的認同而撼動自我概念。（五）婚外情風暴後，發展出更增能及完整的自我概念。婚外關係結束後，女性將過去及婚外情中新長成的自我予以融合。不再深陷道德的束縛而停滯不前，反而因婚外情的獨特經驗而形成更勇於挑戰的自我，甚至與婚外情對象以新的角色或關係達到自我實現。最後，本研究提出相關結論。婚外情關係中的女性如果能確立深層的身心需求，甚至讓原本的自我得以賦能，將使婚外關係對其自我概念的發展發揮更大的助益。藉由婚外情關係，女性可從中確立深層的身心需求，甚至讓婚前的自我得以賦能。社會污名對女性的自我概念造成挑戰與衝突，但不會影響女性是否選

擇進入婚外關係。但如果社會污名能有所改善，則經歷婚外情經驗的女性將能減少自我概念發展的阻礙，這將有利於女性自我概念的正向發展。